注入機(jī)離子源配件的市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀

注入機(jī)離子源配件是離子注入機(jī)的關(guān)鍵構(gòu)成部分，在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用，其性能表現(xiàn)會(huì)對(duì)離子注入效果產(chǎn)生影響，與芯片質(zhì)量和生產(chǎn)效率存在關(guān)聯(lián)，市場(chǎng)發(fā)展情況受到行業(yè)廣泛關(guān)注。

參考 SEMI 數(shù)據(jù)，2024 年全球離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 276 億元，預(yù)計(jì) 2030 年可增長至 307 億元 。隨著離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模擴(kuò)大，離子源配件需求也相應(yīng)增加。由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)芯片性能要求不斷提高，先進(jìn)制程工藝中離子注入步驟增多，對(duì)離子源配件性能、精度的標(biāo)準(zhǔn)也隨之提升，這在一定程度上推動(dòng)了市場(chǎng)規(guī)模的增長。

在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)層面，全球注入機(jī)離子源配件市場(chǎng)集中度較高。國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2024 年 AMAT 在全球離子注入設(shè)備銷量市場(chǎng)份額占比為 62.65% 。AMAT 通過 RF 離子源實(shí)現(xiàn) 100mA 級(jí)束流穩(wěn)定性，在離子源配件市場(chǎng)占據(jù)優(yōu)勢(shì)。Axcelis 的 Eclipse?技術(shù)使束流均勻性達(dá)到 99.5%，在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中具有一定優(yōu)勢(shì) 。國內(nèi)在注入機(jī)離子源配件領(lǐng)域發(fā)展時(shí)間相對(duì)較短，國產(chǎn)化比例不高，主要企業(yè)包括凱世通和中科信 。近年來，國內(nèi)企業(yè)發(fā)展速度加快，凱世通研發(fā)的 28nm 工藝節(jié)點(diǎn)相關(guān)離子注入設(shè)備實(shí)現(xiàn)商業(yè)化，部分產(chǎn)品進(jìn)入國內(nèi)重點(diǎn)晶圓廠并獲得批量訂單，在低能大束流離子源配件細(xì)分市場(chǎng)逐步發(fā)展 。

綜合來看，注入機(jī)離子源配件市場(chǎng)存在發(fā)展空間，但也面臨挑戰(zhàn)。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)進(jìn)步，其市場(chǎng)規(guī)?？赡苓M(jìn)一步擴(kuò)大，國內(nèi)企業(yè)在國產(chǎn)替代方面擁有發(fā)展機(jī)遇 。